Единицы | бар | мм рт.ст. | мм вод.ст. | атм (физич.) | кгс/м2 | кгс/см2 (технич. атм.) | Па | кПа | Мпа |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
1 бар | 1 | 750.064 | 10197,16 | 0.986923 | 10.1972 ∙ 103 | 1,01972 | 105 | 100 | 0.1 |
1 мм рт.ст. | 1.33322 ∙10-3 | 1 | 13,5951 | 1.31579 ∙10-3 | 13,5951 | 13.5951 ∙10-3 | 133.322 | 133.322 ∙10-3 | 133.322 ∙10-6 |
1 мм вод.ст. | 98.0665 ∙10-6 | 73.5561 ∙ 10 -3 | 1 | 96.7841 ∙10-6 | 1 | 0.1∙10-3 | 9.80665 | 9.80665 ∙10-3 | 9.80665 ∙10-6 |
1 атм | 1.01325 | 760 | 10.3323 ∙103 | 1 | 10.3323∙ 103 | 1.03323 | 101.325 ∙ 103 | 101.325 | 101.325 ∙10-3 |
1 кгс/м2 | 98,0665 ∙10-6 | 73.5561 ∙ 10 -3 | 1 | 96.7841 ∙10-6 | 1 | 0.1∙10-3 | 9.80665 | 9.80665 ∙10 -3 | 9.80665 ∙10-6 |
1 кгс/см2 | 0,980665 | 735.561 | 10000 | 0.967841 | 10000 | 1 | 98.0665 ∙ 103 | 98.0665 | 98.0665 ∙10-3 |
1 Па | 10 -5 | 7.50064 ∙10-3 | 0,1019716 | 9.86923 ∙10-6 | 101.972 ∙ 10-3 | 10.1972 ∙10-6 | 1 | 10 -3 | 10 -6 |
1 кПа | 0.01 | 7.50064 | 101,9716 | 9.86923 ∙10-3 | 101.972 | 10.1972 ∙10-3 | 103 | 1 | 10 -3 |
1 МПа | 10 | 7.50064 ∙103 | 101971,6 | 9.86923 | 101.972 ∙103 | 10.1972 | 106 | 103 | 1 |
К системе СИ относятся: Инженерные единицы:
Бар
1 бар = 0,1 Мпа 1 мм рт.ст. = 13.6 мм вод.ст.
1 бар = 10197.16 кгс/м2 1 мм вод.ст. = 0.0001кгс/см2
1 бар = 10 Н/см2 1 мм вод.ст. = 1 кгс/м2
1 атм = 101.325 ∙ 103 Па
Па
1 Па = 1000МПа
1 МПа = 7500 мм. рт. ст.
1 МПа = 106 Н/м2
Установка аэрозольного нанесения плёнок фоторезиста.
Установка аэрозольного напыления предназначена для нанесения плёнок фоторезиста ФП-7 РНСэ и др. толщиной 1…5 мкм методом распыления азотом или воздухом
Установка работает с подвижными закрепленными в кассете пластинами. Управление установкой осуществляется в ручном и автоматическом режиме. В автоматическом режиме по заранее установленной программе. Питание установки осуществляется от сети переменного тока 220В, 50 Гц. Максимальный потребляемый ток по фазам не более 5А. Установка обеспечивает работу при подаче азота газообразного ГОСТ 9293-74 давлением 1-3 атм. и очищенного сжатого воздуха при давлении 1-3 атм.
Для размещения установки на месте ее эксплуатации необходимы:
Питание установки |
220В, 50Гц |
Распыляемое вещество | жидкости с вязкостью от 2 до 3 сантипуаз |
Ёмкость для фоторезиста | 3,5 мл |
Время напыления одной/трёх кассет, сек. | 72/216 |
Расход фоторезиста, мл/сек. | 0,0162 |
Средний диаметр капель, мкм., не более | 0,5-2 |
Максимальная производительность распыления фоторезиста, мл/c | 0,5-3 |
Количество пластин, обрабатываемых за один цикл. шт. | 4-8 |
Размеры обрабатываемых пластин, мм | 25 - 50 мм |
Количество подаваемых (неагрессивных) газов, шт. | 2 |
Давление подаваемых газов на входе в установку атм. | 1-3 |
Тип газов, подаваемых в камеру при работе | азот, воздух |
Управление технологическим процессом | автоматическое |
Число координат | четыре |