Таблица перевода единиц измерения давления

Единицыбармм рт.ст.мм вод.ст.атм (физич.)кгс/м2кгс/см2 (технич. атм.)
ПакПаМпа
1 бар 1 750.064 10197,16 0.986923 10.1972 ∙ 103 1,01972 105 100 0.1
1 мм рт.ст. 1.33322 ∙10-3 1 13,5951 1.31579 ∙10-3 13,5951 13.5951 ∙10-3 133.322 133.322 ∙10-3 133.322 ∙10-6
1 мм вод.ст. 98.0665 ∙10-6 73.5561 ∙ 10 -3 1 96.7841 ∙10-6 1 0.1∙10-3 9.80665 9.80665 ∙10-3 9.80665 ∙10-6
1 атм 1.01325 760 10.3323 ∙103 1 10.3323∙ 103 1.03323 101.325 ∙ 103 101.325 101.325 ∙10-3
1 кгс/м2 98,0665 ∙10-6 73.5561 ∙ 10 -3 1 96.7841 ∙10-6 1 0.1∙10-3 9.80665 9.80665 ∙10 -3 9.80665 ∙10-6
1 кгс/см2 0,980665 735.561 10000 0.967841 10000 1 98.0665 ∙ 103 98.0665 98.0665 ∙10-3
1 Па 10 -5 7.50064 ∙10-3 0,1019716 9.86923  ∙10-6 101.972 ∙ 10-3 10.1972 ∙10-6 1 10 -3 10 -6
1 кПа 0.01 7.50064 101,9716 9.86923 ∙10-3 101.972 10.1972 ∙10-3 103 1 10 -3
1 МПа 10 7.50064 ∙103 101971,6 9.86923 101.972 ∙103 10.1972 106 103 1

К системе СИ относятся:                    Инженерные единицы:
Бар

1 бар = 0,1 Мпа                              1 мм рт.ст. = 13.6 мм вод.ст.
1 бар = 10197.16 кгс/м2                  1 мм вод.ст. = 0.0001кгс/см2
1 бар = 10 Н/см2                                      1 мм вод.ст. = 1 кгс/м2
                                                                       1 атм = 101.325 ∙ 103 Па
Па

1 Па = 1000МПа
1 МПа = 7500 мм. рт. ст.
1 МПа = 106 Н/м2

Авторизация

Установка аэрозольного нанесения плёнок фоторезиста

Установка аэрозольного нанесения плёнок фоторезистаУстановка аэрозольного нанесения плёнок фоторезиста.

Установка аэрозольного напыления предназначена для нанесения плёнок фоторезиста ФП-7 РНСэ и др. толщиной 1…5 мкм методом распыления азотом или воздухом

 

 

 

ОБЛАСТЬ ПРИМЕНЕНИЯ

  • Подложки с развитой топографией;
  • Подложки с глубоким рельефом и сквозными отверстиями;
  • «меза-структуры»;
  • Комбинационные подложки.

Установка работает с подвижными закрепленными в кассете пластинами. Управление установкой осуществляется в ручном и автоматическом режиме. В автоматическом режиме по заранее установленной программе. Питание установки осуществляется от сети переменного тока 220В, 50 Гц. Максимальный потребляемый ток по фазам не более 5А. Установка обеспечивает работу при подаче азота газообразного ГОСТ 9293-74 давлением 1-3 атм. и очищенного сжатого воздуха при давлении 1-3 атм.

Для размещения установки на месте ее эксплуатации необходимы:

  • площадь 10 м2;
  • вытяжная вентиляция с расходом воздуха не менее 600 м3/ч;
  • контур заземления.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ

Питание установки

 220В, 50Гц
Распыляемое вещество жидкости с вязкостью от 2 до 3 сантипуаз
Ёмкость для фоторезиста 3,5 мл
Время напыления одной/трёх кассет, сек. 72/216
Расход фоторезиста, мл/сек. 0,0162
Средний диаметр капель, мкм., не более 0,5-2
Максимальная производительность распыления фоторезиста, мл/c 0,5-3
Количество пластин, обрабатываемых за один цикл. шт. 4-8
Размеры обрабатываемых пластин, мм 25 - 50 мм
Количество подаваемых (неагрессивных) газов, шт. 2
Давление подаваемых газов на входе в установку атм. 1-3
Тип газов, подаваемых в камеру при работе азот, воздух
Управление технологическим процессом автоматическое
Число координат четыре